Zeer nauwkeurige diktemeting van elektrisch geleidende films
Het capacitieve TFG6220-systeem meet de dikte van elektrisch geleidende films, bijvoorbeeld batterijfilms, met maximale nauwkeurigheid. Een vacuümapparaat zuigt het te meten object aan, strijkt het glad en zorgt zo voor een optimale, vouwvrije positionering. Op deze manier kan de meting met de grootst mogelijke nauwkeurigheid worden uitgevoerd. Het systeem wordt gebruikt voor offline steekproeven bij kwaliteitscontrole. Bovendien is de TFG6220 gebruiksklaar voorgemonteerd en maakt een snelle start mogelijk.
Kenmerken
- Snelle offline inspectie van de filmdikte
- Resolutie: 10 nm
- Hoge herhaalbaarheid: 1 µm
- Mogelijke filmdikte: < 1 mm
- Automatisch gladstrijken van de film met vacuüm zorgt voor zeer nauwkeurige resultaten
- Geïntegreerde meetinzet voor eenvoudige referentie vóór diktemeting
- Eenvoudige bediening/visualisatie via de vrij toegankelijke sensorTOOL-software
Nauwkeurige tests voor betrouwbare kwaliteit
De TFG6220 bestaat uit een meetbeugel met sensoren en een capaNCDT-controller. Deze berekent de dikte door de meetwaarden van de twee capacitieve sensoren te evalueren. Een extern vacuümapparaat maakt het meetobject automatisch glad. Op deze manier worden micron-nauwkeurige resultaten bereikt.
De vast geïnstalleerde capacitieve sensor (1) aan de bovenzijde meet de afstand tot het meetobject (2). De meetinzet (3) fungeert als referentievlak waarmee het te meten object wordt aangezogen en door middel van vacuüm wordt uitgerekt. De capacitieve sensor aan de onderzijde (4) meet op de meetinzet en compenseert de mechanische afwijking van het contactoppervlak.