Witlicht-interferometer voor absolute afstandsmeting met nanometernauwkeurigheid
De nieuwe IMS5400-DS witlicht-interferometer opent nieuwe perspectieven in industriële afstandsmeting. De controller beschikt over een intelligente evaluatiefunctie en maakt absolute metingen met nanometernauwkeurigheid mogelijk over een relatief grote offset-afstand. Vergeleken met andere optische meetsystemen biedt de IMS5400-DS een ongeëvenaarde combinatie van nauwkeurigheid, meetbereik en offset-afstand.
Kenmerken
- Absolute afstandsmeting met nanometernauwkeurigheid, geschikt voor bijvoorbeeld het meten van stapprofielen
- Multi-peak-afstandsmeting van transparante objecten
- Compacte en robuuste sensoren met grote offsetafstand
- Meetsnelheid tot 6 kHz voor snelle metingen
- Robuuste controller met passieve koeling
- Eenvoudige configuratie via webinterface
- Compacte sensoren ook met 90°-straalpad
- Flexibele industriële integratie voor snelle afstelling op locatie
- NIEUW - Nu ook met grote offsetafstand - voor betrouwbare afstandsmeting, ook bij laaggelegen en moeilijk toegankelijke gebieden,
Absolute afstandsmeting met nanometerresolutie
De IMS5400-DS wordt gebruikt voor zeer nauwkeurige verplaatsings- en afstandsmetingen. Anders dan conventionele interferometers maakt de IMS5400-DS ook stabiele meting van getrapte profielen mogelijk. Dankzij de absolute meting wordt het scannen van stappen uitgevoerd met een hoge signaalstabiliteit en nauwkeurigheid. Bij metingen bij bewegende objecten kunnen hoogteverschillen van richels, getrapte vormen en uitsparingen betrouwbaar worden gedetecteerd.
Multi-piek afstandsmeting
Bij multi-piek afstandsmeting op transparante objecten worden tot 14 afstandswaarden gelijktijdig geëvalueerd. Zo kan bijvoorbeeld de afstand tussen glas en een dragerplaat worden bepaald. Bovendien kan de controller op basis van de afstandswaarden de glasdikte berekenen.
Ideaal voor industriële omgevingen
Robuuste sensoren en een controller in een metalen behuizing maken het systeem ideaal voor integratie in productielijnen. De controller kan via DIN-railmontage in de schakelkast worden geïnstalleerd en levert zeer stabiele meetresultaten dankzij de actieve temperatuurcompensatie en de passieve koeling. Deze compacte sensoren zijn extreem ruimtebesparend en kunnen ook in krappe ruimtes worden geïntegreerd. Zeer flexibele glasvezelkabels zijn verkrijgbaar in lengtes tot 10 m en maken een ruimtelijke scheiding van sensor en controller mogelijk. De inbedrijfstelling en parametrering worden eenvoudig uitgevoerd via de webinterface en vereisen geen software-installatie.
Kleine lichtvlek voor de kleinste details en structuren
De sensoren genereren een kleine lichtvlek over het gehele meetbereik. De diameter van de lichtvlek is slechts 10 µm en maakt de detectie van kleine details mogelijk, zoals structuren op halfgeleiders en geminiaturiseerde elektronische componenten.
Meten van meerdere oppervlakken
De interferometrische meetmethode maakt metingen op talloze oppervlakken mogelijk. Hierdoor zijn zeer nauwkeurige afstandsmetingen op reflecterende metalen, kunststoffen en glas mogelijk.
NIEUW: Sensoren met grote offsetafstand
Voor veilige en betrouwbare metingen, zelfs bij moeilijk bereikbare of laaggelegen meetpunten: de nieuwe IMP DS35/VAC-sensor heeft een grote offsetafstand, vermindert storingen en maakt een veilige afstand tot hete objecten mogelijk.
Sensoren ook met 90°-straalpad
Door hun compacte bouwvorm kunnen deze sensoren ook in krappe inbouwruimtes worden geïntegreerd. Bij de modellen met een bundeluitgang van 90° wordt de benodigde inbouwdiepte opnieuw aanzienlijk verminderd.
Talrijke modellen voor veeleisende meettaken
| Model | Meetbereik / start van het meetbereik | Lineariteit | Aantal meetbare lagen | Toepassingsgebieden |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS0.5/90/VAC | 1,5 mm / ca. 0,5 mm | ± 50 nm | - |
Zeer nauwkeurige afstandsmeting in cleanroomomgevingen en vacuüm, bijv. meting op gecoate wafers. |
| IMS5400-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5400-DS19 | 2,1 mm / ca. 19 mm | ± 50 nm | - | Industriële afstandsmetingen, bijv. in de precisieproductie |
| IMS5400-DS19/VAC | Precieze positioneertaken en afstandsmetingen in cleanroomomgevingen en vacuüm, bijv. in de displayproductie voor maskerproductie | |||
| IMS5400-DS35/VAC |
2,1 mm / ca. 35 mm |
< ±50 nm voor de eerste afstand < ±150 nm voor elke extra afstand |
- | Precieze positiemonitoring in de productie van glazen wafers en voor afstandsmetingen op gecoate wafers. Dankzij de grote offsetafstand kunnen metingen worden uitgevoerd vanaf een veilige afstand en op lage of moeilijk toegankelijke meetpunten |
| IMS5400MP-DS35/VAC | Afstandsmeting: 2,1 mm / ca. 35 mm Diktemeting: 0,01 ... 1,3 mm (voor BK7, n=1,5) / ca. 35 mm |
Tot 13 lagen | ||
| IMS5400MP-DS19 | Afstandsmeting: 2,1 mm / ca. 19 mm Diktemeting: 0,01 ... 1,3 mm (voor BK7, n=1,5) / ca. 19 mm |
± 50 nm voor de eerste afstand ± 150 nm voor elke extra afstand |
Tot 13 lagen | Industriële afstands- en diktemetingen, bijv. in de productie van vlakglas |
| IMS5400MP-DS19/VAC | Nauwkeurige afstands- en diktemetingen in cleanroomomgevingen en vacuüm, bijv. bij de productie van displays voor afstands- en spleetmeting |
Interface en signaalverwerkingseenheden
Moderne interfaces voor integratie in machines en systemen
De controller biedt geïntegreerde interfaces zoals Ethernet, EtherCAT en RS422, maar ook extra encoderaansluitingen, analoge uitgangen, synchronisatie-ingangen en digitale I/O's. Wanneer u de interfacemodules van Micro-Epsilon gebruikt, zijn PROFINET en EthernetIP beschikbaar. Dit maakt integratie van de interferometer in alle besturingssystemen en productieprogramma's mogelijk.
