Zeer nauwkeurige witlicht-interferometers voor absolute afstands- en diktemetingen
De innovatieve witlicht-interferometers van Micro-Epsilon vormen een benchmark voor uiterst nauwkeurige afstands- en diktemetingen. De absolute interferometers maken stabiele meetresultaten mogelijk met een sub-nanometerresolutie en een relatief groot meetbereik en offset-afstand. De interferometers worden toegepast voor absolute afstands- en diktemetingen van transparante objecten en wafers.
Overtuig uzelf: meetnauwkeurigheid op het hoogste niveau voor toepassingen in de industrie en de halfgeleidermachinebouw.
Significante voordelen van de innovatieve witlicht-interferometers
- Absolute afstandsmeting met nanometernauwkeurigheid
- Betrouwbare diktemeting: materiaaldiktes vanaf 1 µm, ongeacht de sensorafstand
- Multi-piek afstandsmeting en meerlaags diktemeting
- Beste in zijn klasse: resolutie < 30 picometer (IMS5600)
- Hoge signaalstabiliteit dankzij nieuwe evaluatiealgoritmen en actieve temperatuurcompensatie
- Grote offset-afstand
- Industrieel geoptimaliseerde sensoren met robuuste metalen behuizing en flexibele kabels
- Vacuüm-compatibele sensoren en kabels
- Eenvoudige bediening en snelle afstelling op locatie
Interferometer voor industrie en automatisering
De industriële witlicht-interferometer bestaat uit een robuuste sensor, een zeer flexibele sensorkabel en een controller in een aluminiumbehuizing die op een DIN-rail kan worden gemonteerd. De controller heeft een actieve temperatuurregeling, die veranderingen in de omgevingstemperatuur compenseert en op deze manier een enorme temperatuurstabiliteit bereikt. Dankzij het robuuste ontwerp kan de interferometer ook in industriële omgevingen worden geïntegreerd. Kabellengtes tot 10 m maken bovendien een ruimtelijke scheiding van sensor en controller mogelijk. Voor meettaken in cleanrooms en vacuüm zijn vacuümgeschikte sensoren, kabels en kabeldoorvoeraccessoires beschikbaar.
Extreme z-resolutie en een kleine lichtvlek maken metingen van de kleinste details en structuren mogelijk.
De interferometersensoren maken een sub-nanometerresolutie mogelijk. Bovendien genereren ze een lichtvlek van 10 µm over het gehele meetbereik. Dit maakt het meten van kleine details mogelijk, zoals structuren op halfgeleiders en geminiaturiseerde elektronische componenten. De lichtvlek wordt gevisualiseerd door een pilotlaser en vergemakkelijkt de uitlijning van de sensor.
Nieuwe sensormodellen met verschillende ontwerpen
Er zijn nieuwe sensoren met verschillende ontwerpen en eigenschappen beschikbaar voor integratie in veeleisende omgevingen. Vanwege de 90°-straalpad kunnen zowel de IMP-DS0.5/90/VAC als de IMP-DS10/90/VAC ook in kleine inbouwruimtes worden gemonteerd. De nieuwe miniatuursensor IMP-DS1/VAC is een van de kleinste optische sensoren van Micro-Epsilon. Met een diameter van 4 mm en een geïntegreerde kabel kan de sensor ook in extreem krappe ruimtes worden gebruikt. Sensoren en kabels kunnen zowel in een cleanroom als in een vacuüm worden gebruikt.
Gepatenteerde pilotlaser voor eenvoudige sensorpositionering
Witlicht-interferometers gebruiken infraroodlicht in het niet-zichtbare bereik (golflengte van circa 840 nm), waardoor de meetpositie niet zichtbaar is. Om de meetpositie te visualiseren, zijn Micro-Epsilon-systemen uitgerust met een pilotlaser die een lichtvlek op de meetpositie projecteert. Bovendien gebruikt de pilotlaser een gepatenteerde methode om naast de meetpositie ook feedback te geven over de afstand. Als het meetobject zich op de juiste afstand en binnen het meetbereik bevindt, straalt de pilotlaser constant licht uit. Als het meetobject zich buiten het meetbereik bevindt, knippert de pilotlaser.
Eenvoudige integratie op locatie
- Uitwisselbaarheid van componenten maakt flexibele integratie mogelijk
- Snelle en efficiënte service op locatie
- Vervanging van de lichtbron mogelijk door Micro-Epsilon-servicepersoneel bij de productielijn
- Vervanging van sensor van hetzelfde type (voor IMS5400): sensorverwijdering of herkalibratie in de Micro-Epsilon-fabriek is niet nodig
- Lengtevariatie en vervanging van kabels van hetzelfde type zijn door de klant mogelijk: het is niet nodig om het systeem op te sturen.
Verstelbare montageadapter voor sensoruitlijning
Voor maximale nauwkeurigheid moeten de interferometers zo haaks mogelijk op het meetobject worden uitgelijnd. Met de verstelbare montageadapter kunnen de sensoren optimaal op het meetobject worden uitgelijnd. Het is ook mogelijkheid om de sensor na installatie in de machine uit te lijnen. De industriële adapter maakt verschuiving in de x- en y-as mogelijk, evenals kanteling van de sensor ten opzichte van het meetobject.
Nieuw: Verstelbare montageadapter voor tweezijdige diktemeting
De JMA-Thickness bestaat uit twee verstelbare montageadapters en ondersteunt de uitlijning van sensoren bij tweezijdige diktemetingen. Dit betekent dat de meetpunten absoluut congruent op een optische as kunnen worden geplaatst, hetgeen voor betrouwbare diktemetingen met de hoogste nauwkeurigheid zorgt. De JMA-Thickness is ideaal voor integratie in machines en productie-installaties. De voorgemonteerde montageplaten maken een snelle en eenvoudige installatie mogelijk.
Gebruiksgemak via webinterface
Dankzij een gebruiksvriendelijke webinterface is geen extra software nodig om de controller en de sensoren te configureren. De webinterface is toegankelijk via een Ethernet-verbinding en maakt snelle en eenvoudige instellingen mogelijk, zoals middeling, meetfrequentie en voorinstellingen.
Interface en signaalverwerkingseenheden
Moderne interfaces voor integratie in machines en systemen
De controller biedt geïntegreerde interfaces zoals Ethernet, EtherCAT en RS422, maar ook extra encoderaansluitingen, analoge uitgangen, synchronisatie-ingangen en digitale I/O's. Wanneer u de interfacemodules van Micro-Epsilon gebruikt, zijn PROFINET en EthernetIP beschikbaar. Dit maakt integratie van de interferometer in alle besturingssystemen en productieprogramma's mogelijk.
Toepassing
