Witlicht-interferometer voor absolute afstandsmeting met nanometernauwkeurigheid
De nieuwe IMS5400-DS witlicht-interferometer opent nieuwe perspectieven in industriële afstandsmeting. De controller beschikt over een intelligente evaluatiefunctie en maakt absolute metingen met nanometernauwkeurigheid mogelijk over een relatief grote offset-afstand. Vergeleken met andere optische meetsystemen biedt de IMS5400-DS een ongeëvenaarde combinatie van nauwkeurigheid, meetbereik en offset-afstand.
Kenmerken
- Nanometer-nauwkeurige, absolute afstandsmetingen, geschikt voor getrapte profielen
- Multi-piek afstandsmeting van transparante objecten
- Compacte en robuuste sensoren met grote offset-afstand
- Meetfrequentie tot 6 kHz voor hogesnelheidsmetingen
- Robuuste controller met passieve koeling
- Eenvoudige configuratie via webinterface
- Compacte sensoren, ook met een straalpad van 90°
- Flexibele industriële integratie voor snelle aanpassing in het veld op locatie
Absolute afstandsmeting met nanometerresolutie
De IMS5400-DS wordt gebruikt voor zeer nauwkeurige verplaatsings- en afstandsmetingen. Anders dan conventionele interferometers maakt de IMS5400-DS ook stabiele meting van getrapte profielen mogelijk. Dankzij de absolute meting wordt het scannen van stappen uitgevoerd met een hoge signaalstabiliteit en nauwkeurigheid. Bij metingen bij bewegende objecten kunnen hoogteverschillen van richels, getrapte vormen en uitsparingen betrouwbaar worden gedetecteerd.
Multi-piek afstandsmeting
Bij multi-piek afstandsmeting op transparante objecten worden tot 14 afstandswaarden gelijktijdig geëvalueerd. Zo kan bijvoorbeeld de afstand tussen glas en een dragerplaat worden bepaald. Bovendien kan de controller op basis van de afstandswaarden de glasdikte berekenen.
Ideaal voor industriële omgevingen
Robuuste sensoren en een controller in een metalen behuizing maken het systeem ideaal voor integratie in productielijnen. De controller kan via DIN-railmontage in de schakelkast worden geïnstalleerd en levert zeer stabiele meetresultaten dankzij de actieve temperatuurcompensatie en de passieve koeling. Deze compacte sensoren zijn extreem ruimtebesparend en kunnen ook in krappe ruimtes worden geïntegreerd. Zeer flexibele glasvezelkabels zijn verkrijgbaar in lengtes tot 10 m en maken een ruimtelijke scheiding van sensor en controller mogelijk. De inbedrijfstelling en parametrering worden eenvoudig uitgevoerd via de webinterface en vereisen geen software-installatie.
Kleine lichtvlek voor de kleinste details en structuren
De sensoren genereren een kleine lichtvlek over het gehele meetbereik. De diameter van de lichtvlek is slechts 10 µm en maakt de detectie van kleine details mogelijk, zoals structuren op halfgeleiders en geminiaturiseerde elektronische componenten.
Meten van meerdere oppervlakken
De interferometrische meetmethode maakt metingen op talloze oppervlakken mogelijk. Hierdoor zijn zeer nauwkeurige afstandsmetingen op reflecterende metalen, kunststoffen en glas mogelijk.
NIEUW: Sensoren ook met 90°-straalpad
Dankzij hun compacte formaat kunnen deze sensoren ook in krappe ruimtes worden geïntegreerd. Met name de modellen met een straalpad van 90° vereisen aanzienlijk minder inbouwruimte.
Talrijke modellen voor veeleisende meettaken
| Model | Meetbereik / Begin van meetbereik |
Lineariteit | Aantal meetbare lagen |
Toepassingsgebieden |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm /ca. 0,5 mm | ± 50 nm | - | Zeer nauwkeurige afstandsmeting in een cleanroom-omgeving en vacuüm, bijv. meting op gecoate wafers. Niet-magnetische titanium UHV-variant maakt gebruik in sterke magneetvelden mogelijk, bijv. in de medische technologie (kernspin- of elektronenbundelmicroscoop) |
| IMS5400-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5400-DS19 | 2,1 mm / ca. 19 mm | ±50 nm | - | Industriële afstandsmetingen, bijv. in de precisieproductie |
| IMS5400-DS19/VAC | Nauwkeurige positioneringstaken en afstandsmetingen in cleanroom-omgevingen en vacuüm, bijv. in de displayproductie voor de positionering van maskers | |||
| IMS5400MP-DS19 | Afstandsmeting: 2,1 mm / ca. 19 mm Diktemeting: 0.01 ... 1,3 mm (voor BK7, n=1.5) / ca. 19 mm |
±50 nm voor de eerste afstand ±150 nm voor elke verdere afstand |
Tot 13 lagen | Industriële afstands- en diktemeting, bijv. bij de productie van vlak glas |
| IMS5400MP-DS19/VAC | Nauwkeurige afstands- en diktemeting in cleanroom-omgevingen en vacuüms, bijv. bij de productie van displays voor afstands- en spleetmeting |
Interface en signaalverwerkingseenheden
Moderne interfaces voor integratie in machines en systemen
De controller biedt geïntegreerde interfaces zoals Ethernet, EtherCAT en RS422, maar ook extra encoderaansluitingen, analoge uitgangen, synchronisatie-ingangen en digitale I/O's. Wanneer u de interfacemodules van Micro-Epsilon gebruikt, zijn PROFINET en EthernetIP beschikbaar. Dit maakt integratie van de interferometer in alle besturingssystemen en productieprogramma's mogelijk.
