Witlicht-interferometer voor stabiele diktemeting met sub-micronnauwkeurigheid
De nieuwe IMS5400-TH witlicht-interferometer opent nieuwe perspectieven in industriële diktemeting. De controller biedt een intelligente evaluatiefunctie en maakt diktemeting van transparante objecten met de hoogste nauwkeurigheid mogelijk.
Kenmerken
- Nanometer-nauwkeurige diktemeting en meerlaags diktemeting, zelfs bij variërende afstanden en trillende doelen
- Stabiele meting vanaf grote afstand, zelfs van antireflectiecoating
- Industrieel geoptimaliseerde sensoren met robuuste metalen behuizing en flexibele kabels
- Meetfrequentie tot 6 kHz voor hogesnelheidsmetingen
- Eenvoudige configuratie via webinterface
- Flexibele industriële integratie voor snelle aanpassing in het veld op locatie
Stabiele diktemeting bij variërende meetafstanden
De IMS5400-TH witlicht-interferometer wordt gebruikt voor zeer nauwkeurige diktemetingen vanaf een relatief grote afstand. Een doorslaggevend voordeel hierbij is de afstandsonafhankelijke meting, waarbij zelfs bij bewegende objecten een nanometernauwkeurige diktewaarde wordt bereikt. Het grote diktemeetbereik maakt het meten van dunne lagen, vlak glas en films mogelijk. Omdat de witlicht-interferometer werkt met een SLED in het nabij-infraroodbereik, is diktemeting van ontspiegeld gecoat glas ook mogelijk.
Meerlaags diktemeting
Met de multi-piek controller-variant kunnen meerdere signaalpieken tegelijkertijd worden geëvalueerd. Dit maakt meerlaags diktemeting van transparante objecten en gelaagd glas mogelijk. De controller geeft de diktewaarden met de hoogste stabiliteit weer, ongeacht hun positie.
Ideaal voor industriële omgevingen
Robuuste sensoren en een controller in een metalen behuizing maken het systeem ideaal voor integratie in productielijnen. De controller kan via DIN-railmontage in de schakelkast worden geïnstalleerd en levert zeer stabiele meetresultaten dankzij de actieve temperatuurcompensatie en de passieve koeling. Deze compacte sensoren zijn extreem ruimtebesparend en beschikken over zeer flexibele glasvezelkabels. Kabellengtes tot 10 m maken een ruimtelijke scheiding van sensor en controller mogelijk. De sensor kan eenvoudig en snel worden uitgelijnd met behulp van de geïntegreerde pilotlaser. De inbedrijfstelling en parametrering worden eenvoudig uitgevoerd via de webinterface en vereisen geen software-installatie.
Talrijke modellen voor veeleisende meettaken
| Model | Meetbereik / Begin van meetbereik |
Lineariteit | Aantal meetbare lagen | Toepassingsgebieden |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-TH45 | 0,035 ... 1,5 mm (boor BK7, n=1,5) / ca. 41.5 mm met een werkingsbereik van ca. 7 mm |
±100 nm | 1 laag | Industriële inline diktemeting bijv. bij de productie van vlakglas van enkelglas |
| IMS5400-TH45/VAC | Inline diktemetingen in cleanroom-omgevingen en vacuüm, bijv. bij de productie van displays voor spleetmeting in vacuüm | |||
| IMS5400MP-TH45 | ±100 nm | Tot 5 lagen | Industriële inline meerlaags meting bijv. bij de productie van vlakglas van meerlaags glas |
|
| IMS5400MP-TH45/VAC | Inline meerlaags metingen in cleanroom-omgevingen, bijv. bij de productie van displays voor meerlaags meting in vacuüm | |||
| IMS5400-TH70 | 0,035 ... 1,5 mm (voor BK7, n=1,5) / ca. 68 mm met een werkingsbereik van ca. 4,2 mm |
±200 nm | 1 laag | Industriële inline diktemeting, bijv. bij de productie van enkellaagse films |
| IMS5400MP-TH70 | ±200 nm | Tot 5 lagen | Industriële inline meerlaags meting bijv. bij de productie van meerlaags films |
Interface en signaalverwerkingseenheden
Moderne interfaces voor integratie in machines en systemen
De controller biedt geïntegreerde interfaces zoals Ethernet, EtherCAT en RS422, maar ook extra encoderaansluitingen, analoge uitgangen, synchronisatie-ingangen en digitale I/O's. Wanneer u de interfacemodules van Micro-Epsilon gebruikt, zijn PROFINET en EthernetIP beschikbaar. Dit maakt integratie van de interferometer in alle besturingssystemen en productieprogramma's mogelijk.
