Witlicht-interferometer voor absolute afstandsmeting met sub-nanometerresolutie
De nieuwe witlicht-interferometer IMS5600-DS wordt gebruikt voor afstandsmetingen met de hoogste nauwkeurigheid. De controller biedt een speciale kalibratie met intelligente evaluatie en maakt absolute metingen met een sub-nanometerresolutie mogelijk. De interferometer wordt toegepast voor meettaken met de hoogste nauwkeurigheidseisen, bijvoorbeeld in de elektronica- en halfgeleiderproductie.
Kenmerken
- Afstandsmeting met sub-nanometernauwkeurigheid
- Beste in zijn klasse: Resolutie 30 picometer
- Absolute meting, geschikt voor getrapte profielen
- Compacte en robuuste sensoren met grote offset-afstand
- Meetfrequentie tot 6 kHz voor hogesnelheidsmetingen
- Eenvoudige configuratie via webinterface
- Sensoren en kabels geschikt voor vacuüm
- Compacte sensoren ook met een straalpad van 90°
- Flexibele industriële integratie voor snelle aanpassing in het veld op locatie
Absolute afstandsmeting met groot meetbereik en offset-afstand
De IMS5600-DS wordt gebruikt voor zeer nauwkeurige verplaatsings- en afstandsmetingen. Het systeem levert absolute meetwaarden en kan daarom ook worden gebruikt voor afstandsmeting van getrapte profielen. Dankzij de absolute meting worden getrapte vormen met een hoge signaalstabiliteit gescand. Bij metingen bij bewegende objecten kunnen hoogteverschillen van richels, getrapte vormen en uitsparingen betrouwbaar worden gedetecteerd. Het meetsysteem biedt een resolutie van minder dan een nanometer met een grote offset-afstand ten opzichte van het meetbereik.
Multi-piek afstandsmeting
Bij multi-piek afstandsmeting op transparante objecten worden tot 14 afstandswaarden gelijktijdig geëvalueerd. Zo kan bijvoorbeeld de afstand tussen glas en een dragerplaat worden bepaald. De controller kan vervolgens de glasdikte berekenen op basis van de afstandswaarden.
Ontworpen voor afstandsmetingen met hoge resolutie in vacuüm
IMS5600-DS-interferometers kunnen worden gebruikt voor meettaken in vacuümomgevingen en cleanrooms, waar de interferometers een resolutie bereiken in het sub-nanometerbereik. Voor vacuümtoepassingen biedt Micro-Epsilon speciale sensoren, kabels en doorvoeraccessoires. Deze sensoren en kabels zijn in hoge mate deeltjesvrij en kunnen worden gebruikt van cleanrooms tot en met UHV.
Stabiele afstandsmetingen met de hoogste nauwkeurigheid
De controller kan via DIN-railmontage in de schakelkast worden geïnstalleerd en levert zeer stabiele meetresultaten vanwege de actieve temperatuurcompensatie en de passieve koeling. Deze compacte sensoren zijn extreem ruimtebesparend en beschikken over zeer flexibele glasvezelkabels. Kabellengtes tot 10 m maken een ruimtelijke scheiding van sensor en controller mogelijk. De sensor kan eenvoudig en snel worden uitgelijnd dankzij de geïntegreerde pilotlaser. De inbedrijfstelling en parametrering worden eenvoudig uitgevoerd via de webinterface en vereisen geen software-installatie.
Meting op meerdere oppervlakken
De interferometrische meetmethode maakt metingen op talloze oppervlakken mogelijk. Hierdoor zijn zeer nauwkeurige afstandsmetingen op reflecterende metalen, kunststoffen en glas mogelijk.
NIEUW: Sensoren ook met 90°-straalpad
Dankzij hun compacte formaat kunnen deze sensoren ook in krappe ruimtes worden geïntegreerd. Met name de modellen met een straalpad van 90° vereisen aanzienlijk minder inbouwruimte.
Talrijke modellen voor veeleisende meettaken
| Model | Meetbereik / Begin van meetbereik |
Lineariteit | Aantal meetbare lagen | Toepassingsgebieden |
|---|---|---|---|---|
| IMS5600-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm /ca. 0,5 mm | ±10 nm | - | Zeer nauwkeurige afstandsmeting in een cleanroom-omgeving en vacuüm, bijv. meting op gecoate wafers. Niet-magnetische titanium UHV-variant maakt gebruik in sterke magneetvelden mogelijk, bijv. in de medische technologie (kernspin- of elektronenbundelmicroscoop) |
| IMS5600-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5600-DS19 | 2,1 mm / ca. 19 mm | ±10 nm | - | Zeer nauwkeurige afstandsmetingen in industriële processen, bijv. in de precisieproductie |
| IMS5600-DS19/VAC | Nauwkeurige positioneringstaken en afstandsmetingen in cleanroom-omgevingen en vacuüm, bijv. in de displayproductie voor de positionering van maskers | |||
| IMS5600MP-DS19 | Afstandsmeting: 2,1 mm / ca. 19 mm Diktemeting: 0.01 ... 1,3 mm (voor BK7, n=1,5) / ca. 19 mm |
±10 nm voor de eerste afstand ±100 nm voor elke verdere afstand |
Tot 13 lagen | Zeer nauwkeurige afstands- en diktemetingen in industriële processen, bijv. bij de productie van halfgeleiders voor het bepalen van laagdiktes op wafers of bij de productie van LED's |
| IMS5600MP-DS19/VAC | Zeer nauwkeurige afstands- en diktemetingen in cleanroom-omgevingen en vacuüm, bijv. bij de productie van halfgeleiders voor het meten van positie- en spleetafmetingen op maskers en wafers |
Interface en signaalverwerkingseenheden
Moderne interfaces voor integratie in machines en systemen
De controller biedt geïntegreerde interfaces zoals Ethernet, EtherCAT en RS422, maar ook extra encoderaansluitingen, analoge uitgangen, synchronisatie-ingangen en digitale I/O's. Wanneer u de interfacemodules van Micro-Epsilon gebruikt, zijn PROFINET en EthernetIP beschikbaar. Dit maakt integratie van de interferometer in alle besturingssystemen en productieprogramma's mogelijk.
