Nieuw
Contact
Downloads

interferoMETER 5200-TH

Zeer nauwkeurige diktemetingen van de dunste lagen

Dunne materialen tot 1 µm

Sub-nanometerresolutie

Witlicht-interferometer voor betrouwbare diktemeting met sub-micronnauwkeurigheid

De nieuwe IMS5200-TH witlicht-interferometer opent nieuwe mogelijkheden voor snelle en betrouwbare diktemetingen. De controller beschikt over intelligente evaluatie en maakt nauwkeurige diktemetingen mogelijk van transparante lagen tot 1 µm. Vanwege de hoge meetfrequentie tot 24 kHz zijn de IMS5200-modellen ideaal voor industrieel gebruik. Nanometernauwkeurigheid voor lagen tot 1 µm.

logo

Kenmerken

  1. Meetfrequentie tot 24 kHz voor snelle, stabiele metingen
  2. Eenvoudige integratie dankzij groot werkbereik
  3. Nauwkeurige laagdiktemeting: 1 µm tot 100 µm
  4. Multi-piek: meerlaags meting tot 5 lagen mogelijk
  5. Industrie-geoptimaliseerde sensor met robuuste metalen behuizing
  6. Geschikt voor gebruik in vacuüm
  7. Eenvoudige configuratie via webinterface
[]
Contact
MICRO-EPSILON BeNeLux
Contactformulier
Uw aanvraag van: {product}
* Verplichte velden
We behandelen uw gegevens vertrouwelijk. Lees onze Privacyverklaring.
Voor luchtspleetmeting tussen twee glasplaten (n~1) is het meetbereik 1,5 µm ... 150 µm. Voor glasdiktemeting (met brekingsindex ~1,5) is het bereik 1 µm tot 100 µm.

Betrouwbare diktemeting bij variërende meetafstanden

De IMS5200-TH witlicht-interferometer wordt gebruikt voor zeer nauwkeurige diktemetingen. Een doorslaggevend voordeel hierbij is de afstandsonafhankelijke meting, waarbij zelfs bij bewegende objecten een nanometernauwkeurige diktewaarde wordt bereikt. Het meetbereik van 1 tot 100 µm maakt het meten van dunne transparante lagen en films mogelijk.

logo

Meerlaags diktemeting

Met de multi-piek controller-variant kunnen meerdere signaalpieken tegelijkertijd worden geëvalueerd. Dit maakt meerlaags diktemeting van transparante objecten en gelaagd glas mogelijk. De controller geeft de diktewaarden met de hoogste stabiliteit weer, ongeacht hun positie.

Ideaal voor industriële omgevingen

De robuuste sensor en de controller in een metalen behuizing maken het systeem ideaal voor integratie in productielijnen. Dankzij het compacte ontwerp en het grote werkbereik is de sensor eenvoudig te integreren. Hij levert stabiele meetresultaten, zelfs in trillende omgevingen. De controller kan op een DIN-rail in de schakelkast worden geïnstalleerd. Kabellengtes tot 10 m maken een ruimtelijke scheiding van sensor en controller mogelijk. De inbedrijfstelling en parametrering worden eenvoudig uitgevoerd via de webinterface en vereisen geen software-installatie.

Talrijke modellen voor veeleisende meettaken

Model Meetbereik / begin van het meetbereik Lineariteit Aantal te meten lagen Toepassingsgebieden
IMS5200-TH26 26 mm ±2 mm / 1 µm tot 100 µm < 1 nm 1 laag Snelle en betrouwbare inline-meting van dunne transparante lagen: bijvoorbeeld film- en glascoatings
IMS5200-TH26/VAC
IMS5200MP-TH26 Tot 5 lagen