Zeer nauwkeurige verplaatsingssensoren voor seriematige OEM-toepassingen in de halfgeleiderindustrie
De sensortechnologie van Micro-Epsilon wordt al jaren succesvol toegepast in de halfgeleiderindustrie, met de juiste oplossing voor elke meettaak: wij bieden ultraprecieze sensoren voor complexe front-endprocessen, back-endtoepassingen en automatisering van waferverwerking. Onze sensoroplossingen onderscheiden zich door hun hoge nauwkeurigheid, betrouwbaarheid en langdurige stabiliteit – zelfs onder uitdagende procesomstandigheden in verschillende productieomgevingen.
Waarom Micro-Epsilon?
- Meer precisie tot op de picometer – Made in Germany
- Advies, ontwikkeling en productie uit één hand
- Samen met onze klanten: kwaliteits- en probleemoplossende expertise in series en OEM
- Diepgaande technologie- en toepassingskennis op het gebied van halfgeleiderproductie
- Moderne productiemethoden voor zeer nauwkeurige verplaatsingssensoren en sensorsystemen
Geoptimaliseerde sensoren voor seriematige OEM-toepassingen
Voor seriematige toepassingen passen wij onze sensoren aan volgens uw specificaties, bijvoorbeeld met wijzigingen aan de kabel, het sensormateriaal en het ontwerp, en aan de controller. Tevens worden er toepassingsspecifieke sensormaterialen gebruikt.
Typische sensorspecificaties voor seriematige toepassingen:
- Vacuümcompatibel: materialen met lage uitgassing en UHV-conforme productietechnologieën
- Speciale verbindingstechnologieën
- Etikettering en verpakking conform de normen van de halfgeleiderindustrie
- Prestatieoptimalisatie voor uitzonderlijke meetnauwkeurigheid
- Maximale weerstand tegen elektromagnetische velden
- Hoge kwaliteitsborgingsnormen in alle processtappen
Klaar voor Semicon – geoptimaliseerde productiemethoden
Alle sensoren en systemen ondergaan complexe productie- en testprocedures. Dit heeft onder andere betrekking op de selectie en plaatsing van de elektronica, het mechanische productieproces en speciale procestechnologie.
Zeer gespecialiseerde productiemethoden
- USP-lasertechnologie
- Vacuümsolderen bij hoge temperaturen
- Mechanische precisiefabricage
- Inbrandtesten
- Volledig geautomatiseerde ingietstraten
- Passiveren en coaten van componenten en schakelgroepen
- Gespecialiseerde reinigingsprocessen
Ingebedde spoeltechnologie
Voor zeer veeleisende OEM-projecten adviseren wij embedded coil-technologie of embedded capacitor-technologie (ECT). Dankzij het geminiaturiseerde sensorontwerp in anorganisch materiaal zijn vrijwel alle vrijheidsgraden voor de buitenvorm mogelijk. En dankzij het keramische substraat zijn de sensoren mechanisch robuust en extreem stabiel. Desgewenst kan de volledige evaluatie-elektronica in de sensor worden geïntegreerd. Op deze manier is het mogelijk om ECT-sensoren aan te passen aan speciale inbouwsituaties. De ECT-sensoren zijn geschikt voor de zwaarste gebruiksomstandigheden en hebben in talloze toepassingen hun waarde bewezen.
Meer precisie voor de halfgeleiderindustrie
Micro-Epsilon biedt de juiste oplossing voor diverse toepassingen in de halfgeleiderindustrie – van uiterst nauwkeurige optiekpositionering en fase-uitlijning tot en met hybride bonding. De sensoren worden gebruikt in zowel front-end- als back-endprocessen en onderscheiden zich door hun superieure precisie en betrouwbaarheid.
