Zeer nauwkeurige inspectie en meting van sterk reflecterende oppervlakken
De reflectCONTROL-sensoren registreren en inspecteren sterk reflecterende en gedeeltelijk transparante oppervlakken met hoge precisie. Afhankelijk van het sensormodel zijn 2D-inspecties met hoge resolutie voor defectdetectie of 3D-metingen over het volledige oppervlak voor een nauwkeurige vorm- en geometrie-inspectie mogelijk. Met fase-meetdeflectometrie worden zelfs de kleinste defecten en vormafwijkingen betrouwbaar zichtbaar gemaakt.
De toepassingen lopen uiteen van industriële oppervlakte-inspectie tot geautomatiseerde metingen van wafers met een diameter tot 300 mm. Zo kunnen veeleisende inspectietaken efficiënt, reproduceerbaar en contactloos in het productieproces worden geïntegreerd.
Nauwkeurige 2D- en 3D-oppervlakte-inspectie voor veeleisende industriële meet- en inspectietaken.
Kenmerken
- Contactloze 2D- en 3D-inspectie van sterk reflecterende oppervlakken
- Defectdetectie met hoge resolutie en nauwkeurige vormmeting
- 3D-acquisitie over het volledige oppervlak van onderdelen en wafers tot 300 mm
- Korte meettijden voor efficiënte kwaliteitscontrole
- Hoge meetnauwkeurigheid voor veeleisende oppervlakte-inspecties
- Flexibele integratie in geautomatiseerde inspectie- en productieprocessen
- Krachtige 3DInspect-software
Contactloze 2D- en 3D-meting met deflectometrie
Het meetobject wordt contactloos belicht met gedefinieerde streeppatronen. Het sterk reflecterende oppervlak weerspiegelt deze patronen in twee camera’s, die zelfs de kleinste veranderingen en vervormingen van de strepen detecteren.
Op basis van de opgenomen beeldreeksen genereert de sensor 2D-fasebeelden met een hoge resolutie. Hiermee kunnen oppervlaktedefecten betrouwbaar worden gedetecteerd en geëvalueerd. Bij de reflectCONTROL-modellen die 3D-metingen ondersteunen, wordt de fase-informatie bovendien gebruikt om een driedimensionale puntenwolk, oftewel de oppervlaktetopografie, te berekenen.
Afhankelijk van het sensormodel kunnen de meetgegevens verder worden verwerkt voor automatische defectdetectie, oppervlakte-inspectie en 3D-vormmeting.
Nieuw: reflectCONTROL RCS3500-300 3D-Wafer-Warpage
Sensor voor 3D-kromtrekking- en vlakheidsmetingen van wafers met een meetbereik van 300 mm
Registratie van het volledige waferoppervlak in slechts één opname – zonder stitchingfouten en geoptimaliseerd voor reflecterende waferoppervlakken. Voor snelle, nauwkeurige 3D-kromtrekking- en vlakheidsmetingen, betrouwbare botsingspreventie in het daaropvolgende proces en gebruik bij nearline- en inline-inspecties.
Nauwkeurige oppervlakte-inspectie met deflectometriesensoren
Deflectometriesensoren van Micro-Epsilon worden gebruikt voor uiterst nauwkeurige inspectie van glanzende en reflecterende oppervlakken. Ze detecteren de kleinste vormafwijkingen, golvingen en plaatselijke oppervlaktedefecten contactloos en met een hoge resolutie. Typische toepassingen zijn onder meer te vinden in de halfgeleiderindustrie en bij optische componenten, glasoppervlakken, displays en gelakte of gepolijste onderdelen.
De sensoren maken zowel kwaliteitscontrole van afzonderlijke componenten als geautomatiseerde inline-inspectie tijdens de productie mogelijk. Hierdoor kunnen defecten vroegtijdig worden opgespoord, afkeur en nabewerking worden verminderd en een constant hoge productkwaliteit worden gewaarborgd.
3DInspect – krachtige software voor parameterinstelling en evaluatie
Intuïtieve gebruikersinterface
Dankzij eenvoudige parameterinstelling en het comfortabel aanmaken van 3D-meetprogramma’s kunnen meetprocessen snel en efficiënt worden geconfigureerd.
Inlinegebruik
De geïntegreerde automatiseringsinterface slaat meetprogramma’s op en maakt automatische metingen zonder extra besturingseenheden mogelijk.
Registratie en opslag
van 3D-gegevens rechtstreeks in de software
Eén softwarepakket voor alle 3D-sensoren van Micro-Epsilon
Parameterinstelling
- De optimale sensorparameters voor de betreffende meettaak instellen
- Parametersets laden
- Het te meten gebied selecteren
Voorbewerking van gegevens
- De puntenwolk vóór de evaluatie aanpassen, bijvoorbeeld om de puntenwolk reproduceerbaar te positioneren.
- Filters verfijnen of toepassen om kenmerken te benadrukken, irrelevante punten weg te snijden of doorsneden te maken.
Evaluatie
- Meer dan 80 meetprogramma’s voor het berekenen van de gewenste meetwaarden
- Eerder gemaakte doorsneden evalueren en meten
- Meerdere programma’s combineren voor complexe meettaken
Uitvoer van meetresultaten
- Een meetwaarde direct beoordelen als resultaat (OK/NOK-waarde). Automatische uitvoer van meetwaarden of beoordeelde resultaten (licentie ‘Automatisering’ vereist)
- Schakelsignalen en veldbusuitvoer
