Zeer nauwkeurige diktemeting van elektrisch geleidende films
Het capacitieve TFG6220-systeem meet de dikte van elektrisch geleidende films, bijvoorbeeld batterijfilms, met maximale nauwkeurigheid. Een vacuümapparaat zuigt het te meten object aan, maakt het vlak en zorgt zo voor een optimale, rimpelvrije ondersteuning. Op deze manier kan de meting met de grootst mogelijke nauwkeurigheid worden uitgevoerd. Het systeem wordt gebruikt in de kwaliteitscontrole voor offline monsterinspecties. De TFG6220 wordt voorgemonteerd geleverd en is direct gebruiksklaar.
Kenmerken
- Snelle offline inspectie van de filmdikte
- Resolutie: 10 nm
- Hoge herhaalbaarheid: 1 µm
- Mogelijke filmdikte: < 1 mm
- Zeer nauwkeurige resultaten dankzij automatische afvlakking van de film door middel van vacuüm
- Een geïntegreerd meetinzetstuk maakt eenvoudige referentie mogelijk vóór de diktemeting
- Eenvoudige bediening/visualisatie via de gratis toegankelijke sensorTOOL-software.
Nauwkeurige tests voor betrouwbare kwaliteit
De TFG6220 bestaat uit een meetbeugel met sensoren en een capaNCDT-controller. De dikte wordt berekend door de signalen van de twee capacitieve sensoren te combineren. De automatische egalisering van het meetobject wordt gerealiseerd door middel van een extern aangesloten vacuümeenheid. Dit levert resultaten met micrometerprecisie op.
De vast gemonteerde capacitieve sensor (1) in het bovenste deel van de meetbeugel meet de afstand tot het meetobject (2). Het meetinzetstuk (3) vormt een referentievlak waartegen het te meten object door vacuüm wordt aangezogen en op zijn plaats gehouden. De capacitieve sensor in het onderste gedeelte (4) meet op de meetinzet en compenseert de mechanische afwijking van het contactoppervlak.